/candsci-dissertation

Расчёт и выбор режимов электростатического соединения кремния со стеклом по критерию минимума остаточных напряжений. Исходный LaTeX код автореферата и диссертации кандидата технических наук

Primary LanguageTeX

Диссертация и автореферат


Исходный LaTeX код автореферата и диссертации


Синев Леонид Станиславович

Расчёт и выбор режимов электростатического соединения кремния со стеклом по критерию минимума остаточных напряжений

Диссертация на соискание учёной степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники».

Научный руководитель: кандидат технических наук, доцент Рябов Владимир Тимофеевич.


В качестве основы для кода использовался шаблон Russian-Phd-LaTeX-Dissertation-Template.